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激光光电

一种基于回流焊的光纤光栅磁传感器的制备方法

发布时间:2019-04-30 12:07    浏览量:
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发明专利/实用新型/:发明授权
简介:本发明公开了一种基于回流焊的光纤光栅磁传感器的制备方法,
该方法包括以下步骤:1)选取长方体形状的硅片并进行超声清洗;2)
用磁控溅射的方法在硅片上溅射一层一定厚度的磁致伸缩薄膜;3)选
取可以在高温条件下使用的光纤光栅并进行超声清洗;4)用磁控溅射
的方法在光纤光栅上溅射一层一定厚度的金属薄膜;5)将镀了金属薄
膜的光纤光栅固定在磁致伸缩薄膜上;6)采用回流焊的方法,将镀了
金属薄膜的光纤光栅焊接在磁致伸缩薄膜上,形成可靠的焊点,从而
在光纤光栅与磁致伸缩薄膜之间建立长期的机械连接。本发明方法工
艺简单,操作方便,制造的传感器性能良好。
完成人:杨晓非、李家普、欧阳君、陈泽基、王鲜然、李俊宇、朱本
鹏、陈实